组合式轮廓度和粗糙度测量仪

MarSurf LD130

日益增加的各种测量任务需要要求了对粗糙度和轮廓度的同事测量。为了满足这一需求，测量单元实现别的计量性能。亚纳米级的分别率，小于20nm的RZ残余误差仅是需求中的两项。

粗糙度和轮廓度二合一

的测量和定位的缩短了测量时间

创新性的测头系统解决方案

测臂的实时识别带来更快和更可靠的测臂更换

基于标准化设计的友好界面，不需要完全的拆分机器即可实现仪器的保养

MarSurf LD 260

磁性测量基座支持多种测头，更换简单，维护保养可靠

• 定位精度可到微米，有防碰撞保护，纳米级的分辨率达到高刚性和稳定性

• 可靠的结果得益于用于测量的校准程序

• 软件可设置测量力，在整个执行过程中恒定，确保测量灵活性和可靠性。可以选择适合的测量力来满足工件的材料特性和所选测针

• 在MarSurf X系列中可通过形态过滤来提

• 测臂更换不需要重新校准，磁性基座和每个测臂的校准数据被单独保存可确保测量的重复性

开始操作仪器便可以对形貌进行测量监督

尽早识别误差，节省纠正时间

仪器可输出不同的轮廓数据格式，并对机械加工进行控制（死循环）

增加灵活性和实用性

不同类型的旋转对称非球面只可用一套设备进行测量，不需额外增加设备

保证测量结果正确无误

的MarSurf LD 260是测量工件的基础，垂直方向分辨率2nm，形状误差小于100nm，保证了非球面产品的再现性

整座测量系统固定在控制柜中，附件的减震装置大大降低了周围环境对设备精度的影响

MarSurf LD 260 采用内置激光测量系统，是高质量，的轮廓和粗糙度测量仪，一次测量既可评价轮廓也可评价粗糙度。对于这些测量任务，你需要拥有大行程测量来测量轮廓半径和nm级的粗糙度的两台设备，而我们的一台仪器可以满足两种不同方式的测量

与激光干涉仪比较，接触式测量技术可实现光学粗糙度表面2D和3D测量，所以完全可在加工前进行测量和修正（精磨）。